EUV

EUV 네거티브 PR의 개발을 성공하며 양산을 시작했다. PR은 반도체 회로 패턴을 형성시키는 노광 공정의 핵심소재이다.

디스플레이용 소재, 반도체용 소재, 2차전지 소재 등 전자기기용 소재 사업을 영위하고 있다. 삼성전자의 EUV 포토레지스트 개발 협력사였던 이력으로 관련주로 엮였다.

삼성전자로부터 투자를 받았고 펠리클 및 칠러 생산업체이다. 업계 최초 EUV 펠리클 자동 마운트 장비를 개발 했다. 펠리클은 반도체 노광 공정에 쓰이는 소재이다.

투과율 90%의 반도체 EUV 공정용 펠리클 개발을 국내 최초로 성공하였다. EUV 펠리클 양산에 돌입했다.

EUV 금속산화물레지스트 포토레지스트용 신소재 양산에 들어간다는 소식에 관련주로 엮였다.

국내 유일의 건식진공펌프 생산 전문기업이다. EUV 라인을 중심으로 D램, V낸드 등의 생산이 늘어난다면 건식진공펌프가 필요할 것으로 예상되어 관련주로 엮였다.

반도체용 건식진공펌프의 제조, 판매 및 수리 등 사업을 영위하는 기업이다. 해외 의존도가 높은 반도체 EUV 공정 핵심 용제 개발에 성공했다. 일본이 수출 규제한 품목 중 하나인 포토레지스트 제조에 필요한 원료를 업계 최고 수준 순도로 구현했다.

자회사(선도산업)를 통해 탄산가스를 생산 중이다. 삼성전자, TSMC 등 글로벌 주요 반도체 기업들이 EUV 노광장비를 도입하면서 핵심 소재인 탄산가스가 주목받기 시작해 영향을 받은 것으로 보인다.

삼성전자 화성사업장 EUV 전용라인 V1 등에 풉 세정장비를 공급한 바 있다.

원자현미경 전문 기업 파크시스템스이 EUV 마스크 리페어 장비 공급 준비중이다.